【解密】芯碁微装深耕直写光刻机产品；中兴通讯已凭借5G等专利储备获得可持续许可收益；闻泰科技2021年-2022年3月共获得授权专利571件

作者：爱集微

2022-07-02

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【解密】芯碁微装深耕直写光刻机产品；中兴通讯已凭借5G等专利储备获得可持续许可收益；闻泰科技2021年-2022年3月共获得授权专利571件

1.【专利解密】芯碁微装深耕直写光刻机产品

2.闻泰科技：2021年-2022年3月共获得授权专利571件

3.《北京市知识产权保护条例》7月1日起施行

4.中兴通讯：已凭借5G等专利储备获得可持续许可收益

1.【专利解密】芯碁微装深耕直写光刻机产品

【嘉勤点评】芯碁微装的直写光刻机专利，通过软件实现对数据的处理，能实现对处理后的空间光调制器件所需数据的重复使用，处理时间短，同时提升了直写式光刻机的产能。

集微网消息，芯碁微装在互动平台上表示，公司拥有微纳直写光刻核心技术，截至2021年末，相关发明专利41项，实用新型专利61项。

直写式光刻技术是在感光材料如胶或者膜的表面印刷具有特征的构图的技术，在相关技术中，在对数据进行重复处理的时间较长，容易导致处理速度慢，并且随着直写光刻的领域越来越精细和高端制版的要求，制版线路越复杂与精细，在单位面积中所包含的图形单元分布越多，因此无法有效利用每次处理后的数据，且单独依靠硬件加速，也无法满足直写式光刻机的产能需要。

为此，芯碁微装于2021年10月22日申请了一项名为“控制直写式光刻机的方法和直写式光刻机”的发明专利（申请号: 202111235304.2），申请人为合肥芯碁微电子装备股份有限公司。

图1 控制直写式光刻机的方法流程图

图1为一种控制直写式光刻机的方法的流程图，首先获取原始光刻图形，提取原始光刻图形中的第一特征图形数据单元（S1）。其中，原始光刻图形即需要直写入涂有光敏材料的成像表面的光刻图形，可由多种图形数据单元组成。

然后根据曝光对位信息对原始光刻图形进行形变处理以获得用于本次曝光的形变后光刻图形，并提取用于本次曝光的形变后光刻图形中与第一特征图形数据单元对应的第二特征图形数据单元（S2）。在将原始光刻图形直写入涂有光敏材料的成像表面上时，需要对原始光刻图形进行对位曝光处理。

再查询预存的数据仓库，其中，数据仓库包括不同类型的形变后光刻图形的数据序列，每个数据序列包括形变后光刻图形中的第三特征图形数据单元以及与第三特征图形数据单元对应的空间光调制器件所需数据（S3）。

图2 建立数据仓库过程示意图

图2是建立数据仓库过程的示意图，可采集大量的原始光刻图形，并根据曝光对位信息对原始光刻图形进行形变处理以获得用于曝光后的形变后光刻图形，以及形变后光刻图形中的第二特征图形数据单元，按照常规流程对第二特征图形数据单元进行数据处理后，可以获得与第二特征图形数据单元对应的空间光调制器件目标数据。

之后确定数据仓库中存在与用于本次曝光的形变后光刻图形同类型的目标形变后光刻图形（S4）。获取目标形变后光刻图形的数据序列，并将第二特征图形数据单元与目标形变后光刻图形的数据序列中的第三特征图形数据单元进行比对（S5）。

确定目标形变后光刻图形的数据序列中存在与第二特征图形数据单元可相互替换的目标第三特征图形数据单元，则将目标第三特征图形数据单元对应的空间光调制器件所需数据转换为第二特征图形数据单元对应的空间光调制器件目标数据（S6）。最后根据空间光调制器件目标数据控制直写式光刻机的空间光调制器件（S7）。例如控制器控制空间光调制器件中各个反射镜的角度，以适应性调整空间光调制器件的状态，从而使其能反射携带目标图像信息的光线，以实现将目标图像值写入涂有光敏材料的基板表面上。

简而言之，芯碁微装的直写光刻机专利，通过软件实现对数据的处理，能实现对处理后的空间光调制器件所需数据的重复使用，处理时间短，同时提升了直写式光刻机的产能。

芯碁微装专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产，通过多年深耕，公司已获得半导体、显示、PCB领域头部客户的市场认可。未来公司将继续用创新和技术创造更多的社会价值和商业价值。

关于嘉勤

深圳市嘉勤知识产权代理有限公司由曾在华为等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人组成，熟悉中欧美知识产权法律理论和实务，在全球知识产权申请、布局、诉讼、许可谈判、交易、运营、标准专利协同创造、专利池建设、展会知识产权、跨境电商知识产权、知识产权海关保护等方面拥有丰富的经验。（校对/holly）

2.闻泰科技：2021年-2022年3月共获得授权专利571件

集微网消息，闻泰科技日前在互动平台上表示，2021年至2022年3月期间，公司共获得授权专利571件，专利授权量提升。

据悉，闻泰科技通过投资并购已经成为全球领先的半导体和通讯产品集成企业，主营业务包括半导体IDM、光学模组、通讯产品集成三大业务板块，目前已经形成从半导体芯片设计、晶圆制造、封装测试、半导体设备，到光学模组、通讯终端、服务器、笔记本电脑、IoT、汽车电子产品研发制造于一体的全产业链布局。

美国市场调研机构Omdia研究数据显示，闻泰科技连续多年在全球手机ODM（原始设计制造）行业排名中处于领先地位。（校对/木棉）

3.《北京市知识产权保护条例》7月1日起施行

集微网消息，7月1日，《北京市知识产权保护条例》正式施行。

据悉，这是北京市首部知识产权综合性法规。条例将加强重点领域、新兴领域知识产权保护，推进知识产权纠纷多元调处，提升知识产权保护的质量和效率。

据悉，新施行的《北京市知识产权保护条例》共七章、五十七条，聚焦知识产权纠纷维权周期长、成本高、赔偿低等突出问题，完善了知识产权快速协同保护机制，依法实施侵权惩罚性赔偿制度，同时充分平衡网络平台、展会等有关主体权利义务，以有效维护社会公众利益。

数据显示，截至2022年5月，北京市有效发明专利量435604件，同比增长19.37%；每万人发明专利拥有量达到199.0件，同比增长19.38%；商标有效注册量275.0万件，同比增长16.82%。（校对/小北）

4.中兴通讯：已凭借5G等专利储备获得可持续许可收益

集微网消息，有投资者在互动平台建议中兴通讯对禁止公司参与5G建设的国家提高专利使用费用。

对此，中兴通讯表示，中兴通讯作为5G标准技术贡献者和标准必要专利权人之一，以及全球主要的通信设备和服务供应商，一方面一直致力于推动技术研发和技术分享，为客户和消费者提供更优质的产品和服务，另一方面也采取各种举措和商业运作，保护自身知识产权权益，获得合理的研发回报。目前中兴通讯已凭借包括5G专利在内的专利储备获得了可持续的许可收益，专利价值得到业界认可。同时，5G专利是通信领域的标准必要专利，公司在进行标准必要专利许可时，将遵从标准组织政策和全球的法规、案例和行业实践等要求。

据悉，中兴通讯始终将技术自主创新作为企业发展的第一驱动力，坚持“向下扎根”，在全球多地设立研发机构，保持在5G无线、核心网、承载、接入、芯片等核心领域的研发投入，其研发投入连续多年保持在营业收入10%以上。国际知名专利数据公司IPLytics 2021年11月发布的《5G专利竞赛的领跑者》报告显示，中兴通讯向ETSI披露的5G标准必要专利声明量位居全球第四。（校对/云七）