近日，有着“光刻机第一股”名号的华卓精科传来好消息，上交所已对其创业板IPO申请进行了受理。华卓精科之所以受到瞩目，因其是我国首家自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商。当前，拿下双工台核心技术的厂商，除SAML外，便是华卓精科。

　　华卓精科创始人为清华大学教授朱煜，就是他所带领的团队突破了ASML在双工件台系统上的垄断。与一个工件台相比，双工件台的生产效率更高，能达到270片/时，同时精度也更高。朱煜对于该领域的研究，从ASML在2001年推出全球首台双工件台光刻机时便已开始。

　　2006年，朱煜团队参与国家“02专项”，并于2012年与团队核心人员建立华卓精科。经过多年的攻坚克难，在2016年，其研制的α样机成为首个“02专项”光刻机项目群中，正式通过验收的项目。由此，我国双工台光刻机领域终于迈出了第一步。

　　目前，华卓精科已坐拥175件专利，上海微电子已成为其光刻机双工件台产品的唯一客户，二者建立了良好的合作关系。当前，业界所有ASML、尼康等光刻机巨头，但是，单独出售工件台的厂商，华卓精科还是全球首家，也是唯一一家。据悉，在2021年，华卓精科将生产售价近6000万元的DWSi系列双工件台。

　　DWSi双工件台可被用在浸没式28nm光刻机之上。而此前上海微电子便宣称，其首台28nm沉浸式光刻机将于2021年交付。这两个好消息的传来，令人欣慰。可惜的是，华卓精科的双工件台产品目前无法实现规模化量产，只能小规模定制，未来还有很长的路要走。

　　当前，华卓精科的主要营收并不是来自于光刻机双工件台，而是精密运动系统。在2019，其精密运动系统业务创造了7998万元的营收，而因上海微电子采购进度较预期晚的缘故，在该年度其双工件台业务并未产生营收，直到在今年4月时，华卓精科才完成了供货。

　　从以上种种可以发现，华卓精科的光刻机双工件台还处于起步阶段，还需要进一步发展。但中国双工件台的市场空间十分巨大，华卓精科有着庞大的发展潜力。据朱煜测算，国产工件台市场在2.4亿美元到4.8亿美元。期待华卓精科的未来发展

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